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一种超净高纯硫酸的生产方法

发布日期:2019-12-17 作者: 点击:

超净高纯硫酸的生产方法,所述方法包括如下步骤:(1)除杂:将工业级硫酸注入处理槽,机械搅拌下加入除杂剂,静置后过滤;(2)精馏:将步骤(1)中的滤液经负压引入连续精馏装置中,待液位略高于加热炉丝时,通电加热连续精馏;每次进料 1.8L~2.0L;(3)分馏:收集步骤(2)中的中间馏分,馏分温度范围为 332℃~342℃;(4)超净过滤:将步骤(3)收集的馏分经负压引入超净过滤装置进行超净过滤;(5)超净分装:步骤(4)中产品质量检测达到要求后,超净分装。本发明能够实现氧化去除硫酸中的杂质;同时采用四道滤膜,产品质量指标超过SEMI‑C12标准。


1.一种超净高纯硫酸的生产方法,其特征在于所述方法步骤如下:(1)除杂:将工业级硫酸注入处理槽,机械搅拌下加入除杂剂,静置后过滤;所述除杂剂为KMnO4和K2S2O8的混合物,重量比为3:1;(2)精馏:将步骤(1)中的滤液经负压引入连续精馏装置中,待液位略高于加热炉丝时,通电加热连续精馏;每次进料 1.8L,连续精馏装置的材质为内衬防腐材料的不锈钢;(3)分馏:收集步骤(2)中的中间馏分,馏分温度范围为 332℃~342℃,小于332℃或高于342℃的馏分经管道重新流入连续精馏装置中,再次精馏,同时调节进酸阀添加原料,保持连续精馏装置中的液面±5cm,保持连续生产;(4)超净过滤:将步骤(3)收集的馏分经负压引入超净过滤装置进行超净过滤,超净过滤是在干燥氮气保护下,且在空气中颗粒度大于0.5μm的颗粒不超过100个的百级净化环境下进行,超净过滤装置设置有若干可拆卸的微滤膜及纳滤膜,微滤膜设置为:一组微滤膜孔径为0.5μm;二组微滤膜孔径为0.1μm;纳滤膜设置为:一组纳滤膜孔径为0.5nm,二组纳滤膜孔径为0.2nm;一组微滤膜采用的是聚偏氟乙烯型;二组微滤膜采用的是聚四氟乙烯型;一组和二组纳滤膜采用的都是聚四氟乙烯型;(5)超净分装:在氮气保护下,使用1mL注射器吸取步骤(4)中少量液体进行检测,当产品质量检测达到要求后,超净分装;超净分装是在干燥氮气保护下,且在空气中颗粒度大于0.5μm的颗粒不超过100个的百级净化环境下进行。


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